IHARA伊原DVF-4VF-SC-EP-C-B气动金属隔膜阀15713876121
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参数项
工作压力 真空 ~ 1.0 MPa
使用温度 -10℃ ~ +80℃
Cv 流量系数 0.3
内部容积 1.3 cc
整机重量 气动款约 235 g
耐久寿命 ≥200 万次开关
泄漏等级 内漏 / 外漏极低,半导体高纯气标准
主体材质
阀体:SUS316L 不锈钢
阀座密封:PCTFE
隔膜:Co-Ni 合金(型号 C)
阀盖 / 气缸:SUS304
全部接液部精密清洗、无油处理
产品特点
紧凑型轻量化:集成 VTF 接头一体阀体,比传统 DVE 系列体积更小、节省机柜空间
金属隔膜零外漏:金属膜片隔离介质与执行器,无有机物析出,适配超高纯 N2、Ar、特种工艺气体
洁净工艺:洁净室组装包装,电解抛光内壁,适合半导体、光伏、实验室超高纯管路
气动驱动稳定:单作用弹簧复位,SC 常闭断电 / 断气自动关断,工艺可靠
可配套底部安装支架(型号尾缀 B),方便阀组排架固定
URYU瓜生UL40D油压脉冲扳手15713876121
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