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ULVAC爱发科低温泵CRYO-U4H详询 关159-0897-0566
产品详情
特点
最大发挥了4-inch低温泵的排气特性。
高排气速度有助于提高排气效率和生产率。
特别适用于半导体制造设备和小型设备的溅射工艺。
1台压缩机最多可以运行四台泵。
可以根据您的应用进行设计和制造。
标准规格
| 排气速度(20℃) | 氮 | L/s | 450 |
| 氢 | 500 | ||
| 氩 | 370 | ||
| 水 | 1,100 | ||
| 极限压力 | Pa | 10-7 | |
| 最大流量 | 氩 | Pa・L/s | 1.3×103 |
| 排气容量 | 氩 | Pa・L | 1.0×107 |
| 氢 | 1.5×105 | ||
| 冷却下降时间 | min(50/60Hz) | 45/50 | |
| 重量 | Kg | 14.5 | |
外形尺寸 (单位:mm)
¥9450.00
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