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ULVAC爱发科CRYO-U10HSP低温真空泵刘15621198049
产品详情
特点
最适合溅射应用。
氩气容量是现有型号（U10H）的2倍。
再生时间间隔延长意味着更高的可用性。
可以进行多个连接（最多3个）。
标准规格
| 排气速度(20℃) | 氮 | L/s | 2,400 |
| 氢 | 3,600 | ||
| 氩 | 2,000 | ||
| 水 | 6,900 | ||
| 极限压力 | Pa(Torr) | 10-7(10-9) | |
| 最大流量 | 氩 | Pa・L/s(Torr・L/s) | 1.30×103(9.8) |
| 排气容量 | 氩 | Pa・L(Torr・L) | 2.0×108(1.5×106) |
| 氢 | 1.2×106(9.0×103) | ||
| 冷却下降時間 (动力循环) | min(Hz) | 120/110(50/60) | |
| 吸气口法兰 | UVG-250,10BANSI | ||
| 压缩机组 | C15R | ||
| 重量 | Kg | 36.0 | |
¥2131.00
CKD喜开理电磁阀AD11-8A-03A青岛平山郭-158-54210565¥430.00
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