测量范围:5 mm、12 mm、30 mm
最大分辨率:0.1 μm、0.5 μm
准确度:1 μm p-p 至 1.7 μm p-p(取决于型号)
最大响应速度:80 m/min(分辨率 0.1 μm)、250 m/min(分辨率 0.5 μm)
轴承结构:通过使用高耐用的滚珠花键轴承提高滑动性能
高耐久性:3.2 亿次滑动循环以上(截至 2021 年 1 月的持续评估中)
防护等级:IP67(直型/直角型带气管)
内置参考点
输出信号:A/B/参考点(电压差分线路驱动器输出)
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