检测半导体制造气体的微小气体泄漏。
警报声(间歇声)的速度会随着气体浓度的变化而逐渐变化,当浓度变高时,会发出连续的声音,便于识别气体泄漏的位置。
型 | XP-703D 系列 | ||||
目标气体 | 半导体制造气体(砷化氢、膦、二硼烷、硅烷等) | ||||
气体采样法 | 自动抽吸式 | ||||
传感器类型 | 热线半导体 | ||||
胂 | 磷化氢 | 乙硼烷 | 硅 烷 | 氢 | |
可检测泄漏量 | 1.0× 10-7 帕• m3 /s | 1.5× 10-7 帕• m3 /s | 0.5× 10-7 帕• m3 /s | 2.5× 10-7 帕• m3 /s | 5× 10-7 帕• m3 /s |
可检测浓度 | 0.2 页/分钟 | 0.3 页/分钟 | 0.1 页/分钟 | 0.5 页/分钟 | 1.0 页/分钟 |
响应时间 | 10 秒 | ||||
显示方式 | 间歇性蜂鸣器声音和闪光灯 | ||||
电源*1 | 4 节 AA 锰电池 | ||||
连续使用时间 | 使用碱性电池时:约 9 小时 使用锰电池时:约 3 小时 | ||||
工作温度 | 0°C~40°C | ||||
外形尺寸 | 宽 68×高155×深 32mm | ||||
重量 | 约 400 克 | ||||
标准配件 | 皮套、排空过滤器、滤芯、测试气体、标准附件、4 节 AA 锰干电池 | ||||
自选 | 镍镉电池充电器、耳机 |