MISUGI骏河精机H810-15R-080WA高精度激光位移测量156/5513/
MISUGI骏河精机H810-15R-080WA高精度激光位移测量156/5513/
MISUGI骏河精机H810-15R-080WA高精度激光位移测量156/5513/
■ 非接触式、高精度位移测量,线性度:± 0.02% 高精度,重复性:0.13 μm(*),工作距离:80 mm 和 150 mm
■ 低成本、节省空间、低成本的设计,高精度位移测量所需的功能有限 ・ 传感器头内置控制器的节省空间的设计
■ 传感器头设置和数据通信由外部控制/ PC-标配LAN通信、ModBus-RTU通信设置简单■其他・传感器头符合IP67防水防尘标准・实时显示测量波形、LD强度、LD温度
W.D.80mm
测量范围±15 毫米
光束形状圈
光束直径φ70微米
线性±6微米
重复性0.13微米
温度特性F.S. 的 0.01%/°C