特别适用于中,大型规模的生产装置。
热负荷性能强,可适用于多种工艺。
| 排气速度(20℃) | 氮 | L/s | 4,000 |
| 氢 | 6,000 | ||
| 氩 | 3,300 | ||
| 水 | 9,500 | ||
| 极限压力 | Pa(Torr) | 10-7(10-9) | |
| 最大流量 | 氩 | Pa・L/s(Torr・L/s) | 2.0×103(15) |
| 排气容量 | 氩 | Pa・L(Torr・L) | 2.1×108(1.6×106) |
| 氢 | 9.8×105(7.4×103) | ||
| 冷却下降时间(动力循环) | min(Hz) | 85/75(50/60) | |
| 吸气口法兰 | UVG-300,10BANSI | ||
| 压缩机组 | C30VRT | ||
| 重量 | Kg | 40.0 | |
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