ULVAC爱发科代理U8H/CRYO-U8H-U小型低温泵溅射设备气体排放合肥15655134803
ULVAC爱发科代理U8H/CRYO-U8H-U小型低温泵溅射设备气体排放合肥15655134803
ULVAC爱发科代理U8H/CRYO-U8H-U小型低温泵溅射设备气体排放合肥15655134803
ULVAC Cryo 已应用于电子、光学、太阳能、核聚变、太空开发等许多领域,并积累了良好的业绩记录。
长处
它重量轻、结构紧凑,已大量出货,是低温泵的标准。
适用于实验室设备和小型生产设备。
可进行多次作(最多 3 台)。
超高真空 (10-8Pa 或更低)是可能的。
抽速 (20°C) 氮 L/s 1,700
氢 2,700
氩 1,400
水 4,000
极限压力 帕(托) 10-7(10-9)
最大流量 氩 Pa・L/s(Torr・L/s) 1,2×103(8.9)
排气量 氩 Pa・L (Torr・L) 1.0×108(7.6×10 元5)
氢 1.0×106(7.6×10 元3)
冷却下降时间
(电源循环) 最小(Hz) 100/90(50/60)
进气法兰 UVG-200,6BANSI,UFC-253
压缩机组 C10T、C10AT
质量 公斤 20.8
CRYO-U8H-U
ULVAC Cryo 已应用于电子、光学、太阳能、核聚变、太空开发等许多领域,并积累了良好的业绩记录。
长处
与 CTI 的 CT-8 低温泵完全兼容。
与 CT-8 相比,氢气的排气特性更胜一筹
可进行多次作(最多 3 台)。
抽速 (20°C) 氮 L/s 1,700
氢 2,700
氩 1,400
水 4,000
极限压力 帕(托) 10-7(10-9)
最大流量 氩 Pa・L/s(Torr・L/s) 1,2×103(8.9)
排气量 氩 Pa・L (Torr・L) 1.0×108(7.6×10 元5)
氢 1.0×106(7.6×10 元3)
冷却下降时间
(电源循环) 最小(Hz) 100/90(50/60)
进气法兰 UVG-200,6BANSI,UFC-253
压缩机组 C10T、C10AT
质量 公斤 20.8