ULVAC爱发科高真空低温泵U10H/CRYO-U10HSP半导体电子芯片合肥15655134803

环境设备类 ULVAC爱发科高真空低温泵U10H/CRYO-U10HSP半导体电子芯片合肥15655134803

ULVAC爱发科高真空低温泵U10H/CRYO-U10HSP半导体电子芯片合肥15655134803

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简介

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产品详情

ULVAC爱发科高真空低温泵U10H/CRYO-U10HSP半导体电子芯片合肥15655134803

CRYO-U10HSP

CRYO-U10H

抽速（20°C）氮 L/s 2,400

氢 3,600

氩 2,000

水 6,900

极限压力帕（托） 10-7(10-9)

最大流量氩 Pa・L/s（Torr・L/s） 1.30×103(9.8)

排气量氩 Pa・L （Torr・L） 2.0×108（1.5×106)