真空兼容静电势传感器是可用于测量真空中产生的静电的传感器,使用能够承受真空环境使用的材料和组件。 用它来识别真空过程中产生静电的原因,并持续监测静电势。
型:KS-3101型
检测方法:振动表面电位传感器
推荐真空度:10 5Pa(大气压),10 -1~10 -5帕
测量范围
高量程:0~±20.0kV(测量距离100mm)
低量程:0~±2000V(测量距离10mm)
测量精度:±在10%以内
报警:检测传感器故障 LED 指示
使用环境:温度0~40°C,湿度65%以下(无结露)
质量:约130g(不包括电缆和控制盒)
组件要点
真空电缆:KS-3101-C01(电缆长度1m,可伸缩)
控制箱:KS-3101-B05(带5M大气侧电缆,可伸缩)
控制器:KSD-0110
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