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ULVAC爱发科电源RFS-1205S青岛平山技研刘15621198049

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ULVAC爱发科电源RFS-1205S青岛平山技研刘15621198049

货号: #RFS-1205S

库存: 41

品牌:

¥37150.00 ¥19400.00

简介

ULVAC爱发科电源RFS-1205S青岛平山技研刘15621198049

分类: 仪器仪表类,

产品详情

ULVAC爱发科电源RFS-1205S青岛平山技研刘15621198049

特長

高効率アンプ採用
電力変換効率の良いRF回路を構成し、省エネルギー
高速オートマッチング
高速アルゴリズムにより高速オートマッチングを実施
RF電源にオートマッチング機能を内蔵
本体ユニットのみでマッチングシステム制御が可能。
内蔵のコントローラでRF電源・マッチングボックスのマニュアル操作も可能
柔軟な制御形態に対応
外部アナログ制御、シリアル通信制御が可能
高信頼性
装置メーカーとして蓄積したノウハウを設計にフィードバック

用途

スパッタリング装置
CVD装置
プラズマエッチング装置
RFイオン源
ニュートラライザ

KASUGA春日PST-2005N直流高压发生器
¥42328.00

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SPOTRON狮宝龙微欧计AMS-1070E青岛平山技研刘15621198049
¥452.00

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