宽压力测量范围
10-7Pa~10Pa,不牺牲高真空侧的特性,可以测量到超过溅射工艺的低真空区域
高响应模拟输出
压力值的模拟信号输出确保100msec以内的高响应性,也可用于过程压力控制
4个发射电流设定模式
在高压区域侧使用时的灯丝寿命改善等,可以根据用途进行选择
青岛平山技研ANELVA真空计M-311HG
Pro-Face普洛菲斯触摸屏PFXSP5600TPD青岛平山技研刘15621198049
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