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HITACHI日立离子研磨仪挡板06E-4616青岛平山郭-158-54210565

仪器仪表类 HITACHI日立离子研磨仪挡板06E-4616青岛平山郭-158-54210565

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货号: #06E-4616

库存: 0

品牌:

¥15200.00 ¥9710.00

简介

HITACHI日立离子研磨仪挡板06E-4616青岛平山郭-158-54210565

分类: 仪器仪表类,

产品详情

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日立イオンミリング装置の最上位機種。ついにクラス最速の断面ミリングレートを達成しました。高スループット断面ミリングによって、電子顕微鏡用の断面試料作製がさらに身近になりました

仕様

仕様
共通
使用ガス	Ar（アルゴン）ガス
加速電圧	0～8 kV
断面ミリング
最大ミリングレート（材料Si）	1 mm/h^*1 以上
ビーム照射範囲	10 mm^*2
最大試料サイズ	20(W) × 12(D) × 7(H) mm
試料移動範囲	X ±7 mm、Y 0～+3 mm
イオンビーム間欠照射機能	標準装備
スイング角度	±15°、±30°、±40°
平面ミリング
最大加工範囲	φ32 mm
最大試料サイズ	φ50 × 25(H) mm
イオンビーム偏心量	X 0～+5 mm
イオンビーム間欠照射機能	標準装備
回転速度	1 rpm, 25 rpm
傾斜角度	0～90°

*1マスクエッジからSiを100 µm突出させて1時間加工した際の最大深さ。

*2広域断面ミリング機能使用時。

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¥2131.00

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