在真空中,缓解静电电力的气体成分稀疏,导致静电比大气压力环境变得更加严重。
启用真空静电电势传感器是由可以在真空环境中承受的材料和组件制成的,并且是可用于测量真空中产生的静电电力的传感器。使用它来确定真空过程中静态发电的原因并连续监测静电电位。
该图显示了使用KS-3101在真空室中应用任意电压的充电板的电势的结果。即使在不同的压力环境下(在真空下为10-3Pa,在大气压下10+5Pa),也可以在没有校准的情况下获得相等的测量。
*该数据是一个实际的测量值,不是保证的值。
●比较Outgas分析
对传感器释放的外高质量的分析证实,气体的主要成分是由水和痕量的碳氢化合物引起的。由于每个峰与背景中测得的峰共有共同,因此被认为是从环境中吸附在传感器表面上的气体得出的。
●真空覆盖的比较
排气装置:涡轮分子泵TG220FCAB大阪真空设备制造有限公司。
排气速度:220 l/sec(n2)
腔室尺寸:φ300x L 300mm
*该数据是一个实际的测量值,不是保证的值。
*客户必须准备真空法兰。
KSD-0110:带触摸面板和SD卡的高功能类型
*请在此处查看KSD-0110控制器的规格。
1)测量单元
2)零调整单元
3)外壳(不锈钢上的镜面饰面)
4)安装垫片(Teflon)
5)范围选择器开关
6)操作/故障指示灯
7)充电指示灯(0, +, - )
8)特殊电缆(带连接器)