测量范围:10mm、25mm、50mm、100mm、155mm、205mm
最大分辨率:0.5 μm
准确度:2μm p-p ~ 6μmp-p(取决于型号) )
防尘、防滴、防油结构。 良好的耐环境性。 (P 型)
测量力强(DK10/25/50/100P型):4.9N~9.3N(视型号而定) )
低测量力(DK10/25/50/100N 型):0.3N~2.7N(取决于型号) )
使用附带的磁吸附式测量装置 (DK155/205) 吸附在移动台上即可进行测量
内置源
输出信号:A/B 相位、原点(电压差线驱动器输出)
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