ULVAC爱发科进口无油真空泵低温泵ULVAC半导体芯片溅射工艺冷凝排放气体合肥15655134803

环境设备类 ULVAC爱发科进口无油真空泵低温泵ULVAC半导体芯片溅射工艺冷凝排放气体合肥15655134803

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简介

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产品详情

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真空容器内设极低温面，把容器内的气体分子冷凝，吸附在此低温面捕捉，达到排气目的。

机械可动部分少，无需用油，可以创造洁净的高真空环境。

U4H低温泵

ULVAC Cryo 已应用于电子、光学、太阳能、核聚变、太空开发等许多领域，并积累了良好的业绩记录。

长处

它是一种 4 型低温泵，可提供最佳的排气特性。

高抽速有助于提高抽速和生产率。

它特别适用于半导体制造设备和小型设备的溅射工艺。

一台压缩机最多可以运行四个泵。