SODICK沙迪克代理售后5095852/5073918高精度陶瓷四方规15655134803
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超精密陶瓷空气滑块 XY-Theta 轴撑
低重心 低重心结构,具有独特的磁体预紧机构 实现高运动性能 θ工作台使用黑色堇青石 有效降低光学系统装置的反射率和载物台机构的定位精度 低热膨胀和轻重量 工作台和滑块部分的堇花石和直线电机 磁铁预紧的低热膨胀金属 长期运行无位移 位置偏差为 5 nm 或更小 用于舞台优化的内部线性电机和内部线性放大器
600*550*235mm
104kg
直角度0.5um
位置偏差5nm
为了保持和保证检测设备和各种设备的准确性,具有出色平面度、平行度和垂直度的高精度参考仪器是最佳选择具有良好的高强度、耐磨性、耐腐蚀性、重量轻、电绝缘性高等特点。 此外,通过管理日本原材料的一条龙生产,从原材料混合到成型、加工、烧制、研磨和检查,我们已能够制造高度可靠的精密表面板和精密测量仪器。 每件产品均由工匠手工“抛光”,精度由“平整度”、“平行度”和“方度”来保证。
四边形主控
Master 在大范围内保证四个平面的精度、平行度和垂直度
5095852 200*200*50 6kg 直角度2um 平面度1um 平行度2um 3w
5073918 350×350×50 16 4w
5073919 450×450×55 24 5w
5096128 550×550×60 33 5w6
5096129 1000×1000×100 194 20w