以紧凑的结构确保滴液,可高精度控制回吸。可防止化学液体在晶圆上喷吐不良等现象。
可根据流体粘度优化定制设计。
气控阀一体型产品,可削减配管工时并实现紧凑化
CKD喜开理回吸阀AMS
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